반도체·ESC 광섬유 온도 모니터링 시스템
반도체 정전척, 식각 및 증착 설비의 선정된 지점을 위한 광섬유 온도 모니터링 시스템입니다. 채널과 산업용 출력을 장비에 맞춰 구성합니다.
반도체 설비의 온도 피드백
형광식 광섬유 온도 모니터링 시스템은 반도체 가열 및 공정 장비의 선정된 지점을 측정합니다. 정전척 베이스, 식각·증착 장비, RF 또는 유도가열 조립체에 적용할 수 있습니다.
센싱 팁은 온도에 따라 변하는 형광 신호를 이용하며 계측기에 광학식으로 연결됩니다. 구성 가능한 범위는 1–64채널, −40 °C~+240 °C, 분해능 0.1 °C, 정확도 ±1 °C입니다. 채널 수와 프로브 형상, 확장 온도 범위 또는 향상된 정확도 옵션은 장비에 맞춰 선정합니다.
일 초 미만의 측정 주기는 온도 추세 데이터 취득을 지원합니다. 광학 신호 진단은 센서 이상 식별을 돕고, RS485 / Modbus와 구성 가능한 4–20 mA 출력은 장비 인터페이스에 연결됩니다. 측정 주기는 데이터 취득 간격이며 설치된 프로브의 열응답 시간과는 다릅니다.
ESC 통합
열 공정에 맞춰 프로브 위치 선정
ESC 설치는 목표 온도 지점과 척 베이스에서 센싱 팁을 둘 수 있는 위치를 정하는 것부터 시작합니다. 장비 설계자가 고정 방식과 외부 계측기까지의 경로를 정의합니다.
- 가열 공정을 파악하는 데 필요한 측정 위치를 식별합니다.
- 프로브 직경, 광섬유 길이와 보호 경로를 확인합니다.
- 광학 채널과 출력을 장비 제어 구성에 맞춥니다.
모니터링과 진단
온도 추세와 센서 상태 확인
지점별 연속 측정은 설비 모니터링과 고장 분석을 지원합니다. 광학 신호 진단은 온도값과 함께 센싱 경로의 상태 정보를 제공합니다.
- 선정된 ESC 또는 가열 지점의 온도 변화를 기록합니다.
- 비정상 값 조사 시 센서 상태 정보를 함께 확인합니다.
- 수신 장비에 맞춰 Modbus 데이터 또는 아날로그 출력을 구성합니다.
제품 데이터
기술 사양
설비 설계와 필요한 측정 지점을 기준으로 최종 구성을 선정합니다.
적용 범위
주요 적용 예
각 채널이 답해야 하는 열 공정 질문에 맞춰 측정 위치와 연동 방식을 선정합니다.
정전척 온도 모니터링
현장 조건에 맞춰 제품 역할, 설치 방법, 관련 부품을 함께 검토하세요.
반도체 식각 장비
현장 조건에 맞춰 제품 역할, 설치 방법, 관련 부품을 함께 검토하세요.
증착 장비
현장 조건에 맞춰 제품 역할, 설치 방법, 관련 부품을 함께 검토하세요.
RF 및 유도가열 장비
현장 조건에 맞춰 제품 역할, 설치 방법, 관련 부품을 함께 검토하세요.
구매 전 확인 사항
자주 묻는 질문
ESC 측정을 위한 프로브는 어디에 설치하나요?
센싱 팁은 정전척 베이스에서 선정된 위치에 통합할 수 있습니다. 위치, 고정 방식과 보호된 광학 경로는 장비 설계자와 협의합니다.
시스템에서 온도 지점을 몇 개까지 측정할 수 있나요?
1–64채널로 구성할 수 있습니다. 최종 채널 수는 승인된 측정 지점 계획에 따릅니다.
어떤 인터페이스를 사용할 수 있나요?
RS485 / Modbus 통신과 구성 가능한 4–20 mA 아날로그 출력을 사용할 수 있습니다. 필요한 출력 구성은 장비 I/O 계획과 대조해야 합니다.
측정 주기가 1초 미만이면 프로브의 열응답도 1초인가요?
아닙니다. 측정 주기는 계측기의 데이터 취득 주기입니다. 열응답은 프로브 구조, 고정 방식과 측정 대상과의 접촉 상태에도 좌우됩니다.
센서 이상을 식별할 수 있나요?
광학 신호 감지와 진단 알고리즘이 센서 이상 식별을 지원합니다. 필요한 상태 보고 방식과 연동 범위는 선정한 계측기에 맞춰 확인해야 합니다.
관련 제품
함께 사용하는 구성품과 시스템
아래 제품은 같은 광학식 온도 측정 경로에서 서로 다른 역할을 합니다.
맞춤형 OEM 광섬유 온도 측정 모듈
프로젝트별 채널, 인터페이스 및 기구 조건이 있는 장비 제조사를 위한 맞춤형 광학식 온도 수집 모듈 개발 방식입니다.
IF-C 다채널 광섬유 온도 변환기
여러 개의 독립적인 형광식 광섬유 프로브 신호를 온도 데이터로 변환하며, 릴레이 경보, RS485 통신 및 선택 사양인 아날로그 출력을 제공하는 구성형 다채널 본체입니다.
광섬유 온도 모니터링 소프트웨어·맞춤형 클라우드 플랫폼
현장 Modbus RTU 소프트웨어 또는 맞춤형 클라우드 플랫폼으로 광섬유 온도 채널의 추세, 이력, 장치 상태 및 경보를 관리합니다.
제품 구성 검토
현장에 맞는 제품 구성 계획
정전척 또는 가열 구역의 측정 위치를 알려주세요. INNO가 프로브 설치 경로, 채널 수와 장비 인터페이스를 함께 검토합니다.
- 측정 대상: 정전척 또는 반도체 가열 조립체에서 선정된 열 측정 지점.
- 설치 방법: 장비 설계자와 함께 ESC 베이스의 센싱 팁 위치, 보호된 광섬유 경로와 계측기 인터페이스를 조율합니다.
- 제품 선정: ESC 또는 가열 구역의 측정 위치
- 시스템 요구사항: 장비 통신과 경보 요구사항
해당되는 경우 운전 온도 범위, 측정 지점 수, 통신·경보 출력 요구사항을 포함해 주세요.