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IGBT-Temperatur­sensor: vollständiger Leitfaden zur Temperatur­überwachung

INNO Anwendungstechnik Aktualisiert am 27.10.2026 10 Min. Lesezeit

Unterschiede zwischen Sperrschicht-, NTC-, Gehäuse-, Grundplatten- und Kühlkörpertemperatur: Messverfahren, Sondenpositionen und faseroptische Punktmessung am Leistungselektronik-Prüfstand.

IGBT-Temperatursensor: vollständiger Leitfaden zur Temperaturüberwachung

Bei der Auswahl eines IGBT-Temperatur­sensors muss zuerst feststehen, welche Stelle gemessen werden soll. Je nach Schutzfunktion, thermischem Modell oder Validierung am Umrichter-Prüfstand kann es um die aktive Silizium-Sperrschicht, den internen NTC, das Modulgehäuse, die Grundplatte oder den Kühlkörper gehen. Unter Last können sich die Temperaturen entlang des Wärmepfads deutlich unterscheiden.

Jeder Sensor misst die Temperatur an seinem Einbauort. Wer die Beziehung zwischen Sperrschicht-, Modul-, Grundplatten- und Kühlkörpertemperatur kennt, kann Sonden gezielter positionieren, Messdaten richtig einordnen und entscheiden, wo eine fluoreszenz­basierte faseroptische Punktmessung bei Leistungselektroniktests sinnvoll ist.

Wichtige Erkenntnisse

  • Sperrschichttemperatur (Tj), interner NTC-Wert, Gehäuse- oder Grundplattentemperatur (Tc) und Kühlkörpertemperatur (Th) beschreiben verschiedene Punkte des Wärmepfads.
  • Ein integrierter NTC sitzt auf dem keramischen Substrat im Modul, nicht auf der aktiven Chipoberfläche. Er reagiert langsamer auf schnelle elektrische Übergänge und misst die Sperrschichttemperatur nicht direkt.
  • Außensonden auf Modulgehäuse, Grundplatte oder Sammelschiene messen die jeweilige Oberfläche am Kontaktpunkt. Für eine Schätzung von Tj aus einer äußeren Messung braucht es ein validiertes thermisches Modell und Verlustleistungsdaten.
  • Fluoreszenz­basierte faseroptische Sonden führen kein elektrisches Sensorsignal über metallische Leitungen an der Messstelle. Sie liefern Temperatur­daten, wenn galvanische Trennung und Schaltstörungen den Einsatz konventioneller Sensoren erschweren.

Temperatur­begriffe im IGBT-Aufbau

Die im aktiven Silizium entstehende Wärme fließt durch Chip-Lot, Keramiksubstrat, Grundplattenlot, Kupfergrundplatte und Wärmeleitmaterial (TIM) in den Kühlkörper oder die Kühlplatte. Jede Schicht bringt Wärmewiderstand und Wärmekapazität mit sich; deshalb fällt die Temperatur entlang des Pfads schrittweise ab.

Temperatur­punktPhysische PositionTypisches MessverfahrenDirekt mit einer Oberflächensonde messbar?Typische technische Aufgabe
Sperrschicht (Tj / Tvj)Aktiver Bereich des SiliziumchipsTSEP-Schätzung, dynamisches thermisches Modell oder spezialisierte optische Messung in vorbereiteten LabormodulenNeinPrüfung des sicheren Arbeitsbereichs (SOA), Power Cycling und Lebensdauerabschätzung
Modul-intern (NTC)Keramiksubstrat im ModulgehäuseIntegrierter NTC- oder PTC-ThermistorNein, Auslesung über HilfsanschlüsseÜbertemperatur­schutz, Leistungsreduzierung und Regelungsrückmeldung
Grundplatte / Gehäuse (Tc)Kupfergrundplatte unter dem KeramiksubstratFaseroptische Sonde oder Thermoelement in einer Nut der KühlplatteJa, wenn mechanischer Zugang bestehtPrüfung des Wärmewiderstands und Referenz für ein thermisches Modell
ModulgehäuseÄußere Kunststoff- oder HarzoberflächeOberflächenkontaktsonde oder InfrarotmessungJaVergleich von Erwärmungstrends zwischen Prüflingen
Kühlkörper (Th)Oberfläche der Kühlplatte oder eine Bohrung im KühlkörperPt100, Thermoelement oder faseroptische SondeJaBewertung der Kühlung und der Wärmeleitmaterialschicht

Die Tc-Angabe im Datenblatt bezeichnet einen festgelegten Punkt an der Unterseite der Grundplatte direkt unter dem Chip, nicht die äußere Kunststoffabdeckung. Kunststoff leitet Wärme schlecht. Eine Sonde oben auf dem Modulgehäuse zeigt daher einen niedrigeren Wert als die Grundplatte. In Prüfberichten sollte der Messpunkt eindeutig benannt werden, damit daraus keine falschen thermischen Berechnungen entstehen.

Warum unterscheiden sich Sperrschicht-, NTC- und Kühlkörpertemperatur?

Im stationären Betrieb hängt der Temperatur­unterschied zwischen Silizium und Kühlmedium von der Verlustleistung und der Summe der Wärmewiderstände entlang des Pfads ab. Bei veränderlichen Betriebsbedingungen weichen Messwerte aus mehreren Gründen voneinander ab:

  • Position des Substratsensors: Der integrierte NTC befindet sich neben den Chips auf dem Substrat, nicht auf dem Silizium. Die Wärme verteilt sich erst über Keramik und Grundplatte, bevor sie den Sensor erreicht.
  • Thermische Verzögerung: Sperrschichttemperaturen ändern sich innerhalb von Millisekunden. Interne Thermistoren und externe Grundplatten reagieren über Zehntelsekunden bis mehrere Sekunden. Bei Lastsprüngen steigt Tj schneller als die NTC- oder Kühlkörperanzeige.
  • Thermische Kopplung mehrerer Chips: In Halbbrücken-, Vierer- oder Sechsermodulen erzeugen IGBTs und Freilaufdioden je nach Strom, Modulationsgrad und Leistungsfaktor unterschiedliche Verluste. Ein einzelner NTC bildet einen regionalen Sammelwert ab, nicht zwingend den heißesten Chip.

IGBT-Temperatur­messverfahren im Vergleich

Bei der Verfahrenswahl sind Zugänglichkeit, elektrisches Potenzial, Störanfälligkeit und Prüfziel gemeinsam zu berücksichtigen.

VerfahrenMesspunktGalvanische TrennungEMV-AspektePraktische VorteileWesentliche Grenzen
Integrierter NTCSubstrat im ModulDurch das keramische Substrat gegebenMittel; Signalführung liegt nahe der Gate-VerdrahtungIm Modul integriert, keine zusätzliche MontageFester Ort; bildet schnelle Chip-Transienten nicht ab
ThermoelementGrundplatte, Kühlkörper, Gehäuse oder SammelschieneMetallische Leitungen bieten keine inhärente TrennungSorgfältige Schirmung und Filterung nötigKleine Messstelle, geringe HardwarekostenLeitungen übertragen das Potenzial bis zum Messgerät
Pt100 / RTDKühlkörper, Kühlmittel oder OberflächeNahe leitender Teile ist eine geeignete Trennung nötigAbgeschirmte und korrekt geführte LeitungenGute Genauigkeit und LangzeitstabilitätGrößere Bauform; wenig Platz unter der Grundplatte
InfrarotkameraSichtbare Oberfläche oder freigelegter ChipBerührungslose optische MessungKamera außerhalb des Felds; keine Sensorleitung am ZielFlächige zweidimensionale Temperatur­bilderFreie Sicht erforderlich; abhängig vom Emissionsgrad
Fluoreszenz-FaseroptikNut der Grundplatte, Sammelschiene, Kühlkörper oder GehäuseNichtleitender optischer SignalwegHohe Störfestigkeit des optischen Signalwegs gegenüber EMIKontaktmessung nahe Hochspannung möglichPunktmessung; Außensonden messen Oberflächen
TSEP-SchätzungElektrische Eigenschaften des aktiven ChipsMessung über Leistungsanschlüsse des ModulsSchnelle Abtastung während des Schaltens erforderlichVirtuelle Sperrschichttemperatur bewertbarAufwendige Kalibrierung; während kontinuierlicher PWM schwierig

Wann ist faseroptische Temperatur­messung am IGBT sinnvoll?

In einer störungsarmen Prüfstation, etwa an einem geerdeten Aluminium-Wasserblock bei Niederspannung, reichen Pt100 oder Thermoelement häufig aus. Faseroptische Messung wird relevant, wenn leitende Sensorleitungen Sicherheits- oder Störprobleme verursachen.

Messung an hohem Potenzial oder schwebenden Knoten

In Traktionsumrichtern, Mittelspannungsantrieben und Industrieumrichtern liegen Kühlkörper und Modulgrundplatten nicht immer auf Erdpotenzial. Ein Thermoelement an einem aktiven Wechselspannungsanschluss, einer Hochspannungs-Sammelschiene oder einem schwebenden Kühlkörper führt das Potenzial über die Leitung bis zum Daten­erfassungs­system. Der nichtleitende optische Pfad trennt den Messpunkt elektrisch vom Auswertegerät. Weitere Hinweise zur galvanisch getrennten Temperatur­messung behandeln diese Randbedingungen.

Betrieb in schnell schaltenden PWM-Umgebungen

Hohe dv/dt-Flanken und schnelle Stromwechsel erzeugen elektro­magnetische Störungen an Leistungsmodulen und Sammelschienen. Bei metallischen Sensorleitungen kann das Schaltfeld niederpegelige Thermoelement-Signale verfälschen. Eine optische Faser überträgt Licht statt elektrischer Spannung und ist entlang des optischen Messpfads weniger anfällig für elektrische Einkopplung.

Kompakte Montage an mehreren Messpunkten

Sonden mit etwa 2 bis 3 mm Durchmesser passen in schmale Nuten einer Kühlplatte, zwischen laminierte Sammelschienen oder neben Leistungsklemmen, sofern die erforderlichen Abstände eingehalten werden. Mehrere Sonden erfassen die Temperaturen verschiedener Bauteilpunkte gleichzeitig.

Faseroptische Sonden, integrierte NTCs und Wärmebildgebung kombinieren

Die Messwerkzeuge ergänzen sich, statt einander zu ersetzen:

  • Mit dem integrierten NTC: Der NTC ist mit der Antriebsregelung verbunden und dient Schutzabschaltung und Leistungsreduzierung. Externe Sonden an Grundplatte und Leistungsanschlüssen zeigen bei Prüfstandversuchen, wie der thermische Zustand des Moduls mit der NTC-Rückmeldung über verschiedene Lastzyklen zusammenhängt.
  • Mit der Infrarot-Thermografie: Wärmebildkameras zeigen die Temperatur­verteilung zugänglicher Oberflächen. Sie benötigen freie Sicht und messen nicht im geschlossenen Aufbau oder unter einer Grundplatte. Faseroptische Sonden können dagegen verdeckte Kontaktstellen während längerer Dauerprüfungen kontinuierlich erfassen.

Geeignete Montageorte für IGBT-Temperatur­sonden

Der Einbauort bestimmt, welche Temperatur tatsächlich erfasst wird. Der mechanische Messpunkt sollte in den Prüfunterlagen dokumentiert sein:

  • Nut in der Kühlplatte (Grundplattenmessung): Häufig wird die Faser durch eine schmale Nut geführt, sodass die Sondenspitze nahe der Grundplatte direkt unter den Chips liegt. Bei kontrollierter Position ergibt das eine Messung am definierten Grundplattenpunkt. Der Wärmekontakt sollte zwischen Prüfungen reproduzierbar sein.
  • Im Kühlkörper: Eine Sacklochbohrung wenige Millimeter unter dem Modul misst die Temperatur des Kühlkörpermaterials. Der Vergleich mit einer Grundplattenmessung hilft, den Wärmewiderstand der Schnittstelle zu bewerten.
  • Leistungsanschlüsse und Sammelschienen: Verschraubte Verbindungen im DC-Zwischenkreis können sich durch Kontaktwiderstand oder Welligkeitsstrom lokal erwärmen. Faseroptische Sonden eignen sich für Messungen an aktiven Leitern, wenn Sondenausführung, Isolationsniveau und Montage den Einsatzbedingungen entsprechen.
  • Modulgehäuse: Eine Sonde auf dem äußeren Kunststoffgehäuse verfolgt die Erwärmung des Gehäuses. Wegen der isolierenden Kunststoffschicht lässt sich daraus nicht direkt auf den Zustand des Siliziums schließen.

INNO-Messsysteme für Leistungselektronik

INNO entwickelt fluoreszenz­basierte faseroptische Temperatur­messsysteme für Prüfstände der Leistungselektronik, Umrichterentwicklung und industrielle Anlagen.

Anregungslicht läuft durch die Faser zu einem temperatur­empfindlichen Fluoreszenz­material an der Sondenspitze. Das Messgerät wertet die Abklingzeit des zurückkehrenden Signals aus und leitet daraus die Temperatur ab. Die tatsächliche Messleistung hängt von der verwendeten Sonde, Gerätekonfiguration und Kalibrierung ab.

Für Leistungselektroniktests sind unter anderem folgende Sonden- und Geräteparameter relevant:

  • Temperatur­bereich: −40 °C bis +260 °C, abhängig von der gewählten Sonde.
  • Genauigkeit und Auflösung: ±0,5 °C bis ±1,0 °C und 0,1 °C Auflösung, je nach Konfiguration.
  • Ansprechzeit: Unter 1 s bei Standardkonfigurationen; die Montage und der thermische Kontakt beeinflussen die installierte Reaktion.
  • Bauform: Dielektrische Sonden mit 2 bis 3 mm Durchmesser; Faserlängen bis 20 m konfigurierbar.

Mehrere Sonden lassen sich an einen mehrkanaligen faseroptischen Temperatur­messumformer anschließen. Das System kann mit 1 bis 64 Kanälen, RS485-Modbus-RTU, optionalen Analog­ausgängen von 4–20 mA und Alarmrelais konfiguriert werden. Für umfangreichere Anlagen- und Schaltschrankkonzepte bietet die Lösung zur Temperatur­überwachung von Hochspannungs­anlagen weitere Anhaltspunkte.

Temperatur­messung für Ihren Prüfstand konfigurieren

Für die Auswahl der Sonden, Kanalzahl und Geräteoptionen benötigt das INNO-Engineeringteam Angaben zu Ihrem Leistungselektronik-Prüfaufbau:

  • Messort (Grundplattennut, Sammelschiene, Kühlkörper oder Gehäuse)
  • Erwarteter Temperatur­bereich
  • Anzahl der Messpunkte
  • Elektrisches Potenzial und Schaltumgebung
  • Benötigte Schnittstelle (RS485 Modbus, Analogausgang 4–20 mA oder Relais)

Die Angaben können Sie über die Kontaktseite des INNO-Engineeringteams oder per E-Mail an info@innofj.com übermitteln.

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Häufige Fragen zur IGBT-Temperatur­messung

Welche Temperatur misst ein IGBT-Temperatur­sensor?+

Ein Sensor misst die Temperatur an seinem physischen Kontaktpunkt. Ein integrierter NTC erfasst die lokale Substrattemperatur. Eine Außensonde misst die Gehäuse-, Grundplatten- oder Kühlkörperoberfläche, die sie berührt; eine Sonde im Kühlkanal erfasst dort die lokale Temperatur. Die Sperrschichttemperatur ist ein virtueller interner Parameter, der über ein elektrisches Verfahren, ein thermisches Modell oder einen spezialisierten Zugang bewertet wird.

Kann eine externe Sonde die IGBT-Sperrschichttemperatur direkt messen?+

Bei einem unveränderten Modul misst keine außen montierte Sonde Tj direkt. Außensonden erfassen Oberflächen. Für eine Schätzung aus externen Messwerten braucht es ein thermisches Impedanzmodell, Verlustleistungsdaten und überprüfte Wärmewiderstände.

Wo sollte ein IGBT-Temperatur­sensor montiert werden?+

Der Einbauort richtet sich nach dem Prüfziel. Für die Grundplatte kommt eine Nut in der Kühlplatte unter den Chips infrage. Zur Bewertung der Wärmeleitmaterialschicht kann eine Messung im Kühlkörper sinnvoll sein. Für Anschlussverluste wird die Sonde an Sammelschiene oder Klemme montiert.

Wie viele Temperatur­kanäle braucht ein Umrichterprüfstand?+

Die Kanalzahl richtet sich nach den gleichzeitig zu erfassenden Punkten. Zuerst werden Messstellen wie Modulgrundplatten, AC- und DC-Sammelschienen, Kühlmittel-Ein- und -Austritt sowie Umgebung ausgewählt. Anschließend wird die nötige Kanalkapazität des Messgeräts festgelegt.

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